發(fā)布時(shí)間： 2024-09-14 點(diǎn)擊次數(shù)： 27次
手套箱適用離子濺射儀是一種結(jié)合了手套箱技術(shù)的離子濺射設(shè)備。其核心原理是利用高能粒子轟擊靶材，使靶材表面的原子或分子獲得足夠的能量并脫離靶材，隨后在基片上沉積形成薄膜。
與傳統(tǒng)離子濺射設(shè)備相比，手套箱適用離子濺射儀具有以下顯著特點(diǎn)：
1.高度集成化：將離子濺射系統(tǒng)與手套箱技術(shù)相結(jié)合，實(shí)現(xiàn)了設(shè)備的一體化設(shè)計(jì)。這種設(shè)計(jì)不僅簡(jiǎn)化了操作流程，還減少了外界環(huán)境對(duì)設(shè)備性能的影響。
2.高真空度：手套箱內(nèi)部可以保持高真空度，有效避免了空氣中的氧氣、水蒸氣等雜質(zhì)對(duì)鍍膜過(guò)程的干擾，提高了鍍膜質(zhì)量。
3.精確控制：配備了先進(jìn)的控制系統(tǒng)，可以精確控制離子束的能量、角度和流量等參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)鍍膜過(guò)程的精確控制。
4.廣泛適應(yīng)性：該設(shè)備適用于各種類型的基片和靶材，如金屬、半導(dǎo)體、陶瓷等，且不受基片形狀和尺寸的限制。
5.安全可靠：手套箱的設(shè)計(jì)有效防止了有害物質(zhì)的泄漏，保障了操作人員的安全。同時(shí)，設(shè)備還配備了多種安全保護(hù)功能，如過(guò)流保護(hù)、過(guò)熱保護(hù)等。
使用手套箱適用離子濺射儀進(jìn)行鍍膜時(shí)，需要遵循以下步驟：
1.準(zhǔn)備工作：根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求選擇合適的基片和靶材，并進(jìn)行必要的預(yù)處理。同時(shí)，檢查手套箱內(nèi)部的清潔度和真空度是否符合要求。
2.安裝設(shè)備：將離子濺射系統(tǒng)安裝在手套箱內(nèi)部，并連接好電源和信號(hào)線。注意確保設(shè)備安裝牢固可靠，避免在后續(xù)操作中出現(xiàn)晃動(dòng)或脫落。
3.抽真空：?jiǎn)?dòng)手套箱的真空泵系統(tǒng)，將內(nèi)部空氣抽出至高真空狀態(tài)。在此過(guò)程中，可以通過(guò)觀察窗觀察手套箱內(nèi)部的情況，確保無(wú)異常情況發(fā)生。
4.設(shè)定參數(shù)：根據(jù)實(shí)驗(yàn)要求設(shè)定離子束的能量、角度和流量等參數(shù)。這些參數(shù)可以通過(guò)設(shè)備的控制系統(tǒng)進(jìn)行精確調(diào)節(jié)。
5.開始鍍膜：?jiǎn)?dòng)離子濺射系統(tǒng)，使高能粒子轟擊靶材并在基片上沉積形成薄膜。在此過(guò)程中，可以通過(guò)觀察窗實(shí)時(shí)觀察鍍膜情況，并根據(jù)需要調(diào)整參數(shù)以優(yōu)化鍍膜效果。
6.結(jié)束鍍膜：當(dāng)達(dá)到預(yù)定的鍍膜厚度或時(shí)間后，停止離子濺射系統(tǒng)的運(yùn)行。關(guān)閉真空泵系統(tǒng)并緩慢恢復(fù)手套箱內(nèi)部的壓力至常壓狀態(tài)。最后取出樣品并進(jìn)行后續(xù)處理和分析。
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